超精密三維表面形貌測量平臺
現(xiàn)代高端機械制造對幾何尺寸測量精度的要求越來越高，特別是對不加任何預(yù)處理的深色、透明、反光的材質(zhì)的超精密三維非接觸掃描測量一直是一個難以逾越的難題。FS系列超精密三維表面形貌測量平臺就是應(yīng)這個要求而開發(fā)的，其顯著特征包括：
幾乎可對任何特性的表面進行超精密3D測量
- 可完成黑色、透明、反光等表面的非接觸三維掃描測量
- ±42.5°大角度測量能力，獲取更多極限和邊緣處數(shù)據(jù)
- 測量范圍小至集成電路，大至手機屏
納米級分辨率與測量精度
- 垂直分辨率達17nm
- 水平分辨率可達1微米
- 測頭精度達14nm
測量效率高、穩(wěn)定性好
- 僅需三步設(shè)置即可一鍵開始測量，節(jié)約時間精力
- 最高20mm/s掃描速度，通常數(shù)分鐘之內(nèi)即可完成測量
- 級大理石隔振設(shè)計，隔離1Hz以上環(huán)境振動影響
- XY軸提供 分辨率光柵尺反饋，數(shù)據(jù)可重復(fù)性高
主流微觀幾何測量功能
- 點、線、面三種測量模式，應(yīng)對從簡單到復(fù)雜的測量任務(wù)
- 2D輪廓測量，包含長寬高、角度和臺階高度等十余項
- 3D形貌測量，包含體積、表面積、翹曲度和腐蝕分析等
- 符合國際ISO25178標準的面粗糙度測量分析
軟件功能強大、開放接口
- 一鍵初始化，動態(tài)顯示測量數(shù)據(jù)、測量進程和設(shè)備狀態(tài)
- 采樣頻率、點間距、掃描范圍等參數(shù)均可調(diào)
- 提供第三方開發(fā)接口，方便用戶進行二次開發(fā)
操作簡單易維護
- 出廠前已完成精度校準，無需在日常使用中進行校準操作
- 無需對樣品傾斜校正，存在較小傾斜角度仍能正常測量
- 受環(huán)境振動、光線、溫 度等因素影響小
- 完備的軟硬件培訓(xùn)和技術(shù)支持服務(wù)，及時解決用戶問題
說明：實物外觀圖片僅供參考
技術(shù)參數(shù)
| 基本參數(shù) | FS-Compact | FS-100 | FS-Premium |
|---|---|---|---|
| 測量速度 |
|
20mm/s |
|
| 測量點間距 |
|
1-100μm |
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| 載物臺尺寸 | 150x150mm | 200x200mm | 400x400mm |
| Z軸升降 | 手動 | 自動 | 自動 |
| 垂直方向行程 |
|
100mm |
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| 水平方向行程 | 100x100mm | 120x120mm | 250x250mm |
| 水平方向定位精度 |
|
1μm/100mm |
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| Z定點測量范圍 |
|
1400μm，100-42000μm可選配 |
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| Z軸橫向分辨率 |
|
最高1μm |
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| Z軸軸向分辨率 | 17nm (1.7nm可選) | 17nm (1.7nm可選) | 20nm |
| Z軸測量精度 |
|
150nm (14nm可選) |
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| 采樣頻率 |
|
100-2000Hz |
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| 設(shè)備長寬高 | 400x550x600mm | 700x1080x1300mm | 2200x1800x2100mm |
| 承重 | 5kg | 10kg | 20kg |
| 電源 |
|
100～240VAC, 0.8A, 50-60Hz |
|
主要功能
2D輪廓和臺階高度：
- 長寬高、深度、角度、弧度
- 間隙和斷差、臺階高
- 平整度
3D輪廓和表面形貌：
- 三維超精細視圖
- 體積計算
- 表面積計算
- 翹曲度測量
ISO25178標準表面粗糙度：
- 面粗糙度
- 線粗糙度
2386118906